XYθ對位平臺包括三個層疊安裝的工作軸， 即X軸、Y軸和Θ軸，在控制設備的控制下，三個工作軸能夠分別獨立的向X方向平動、向Y方向平動，并繞Θ方向旋轉。根據各個工作軸的獨立運動量，以及圖像采集裝置獲取到的圖像，所述控制設備能夠確定平臺平面和圖像平面之間的映射關系，從而實現對XYΘ對位平臺的校準。