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XYθ對位平臺包括三個層疊安裝的工作軸， 即X軸、Y軸和Θ軸，在控制設(shè)備的控制下，三個工作軸能夠分別獨立的向X方向平動、向Y方向平動，并繞Θ方向旋轉(zhuǎn)。根據(jù)各個工作軸的獨立運(yùn)動量，以及圖像采集裝置獲取到的圖像，所述控制設(shè)備能夠確定平臺平面和圖像平面之間的映射關(guān)系，從而實現(xiàn)對XYΘ對位平臺的校準(zhǔn)。
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